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袖珍表面粗糙度儀在集成電路半導體中的應用

更新時間：2022-07-25

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　　袖珍表面粗糙度儀具有測量精度高、測量范圍寬、操作簡便、便于攜帶、工作穩(wěn)定等特點，可以廣泛應用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測，該儀器是傳感器主機一體化的袖珍式儀器，具有手持式特點，更適宜在生產(chǎn)現(xiàn)場使用。外形采用拉鋁模具設計，堅固耐用，抗電磁干擾，符合當今設計新趨勢。

　　被測零件是平面時，可以直接把表面粗糙度儀放在被測零件上，讓表面粗糙度儀探針接觸被測零件表面，按下表面粗糙度儀測量按鍵，此時需要保證表面粗糙度儀不能有任何的晃動、或震動，手不能接觸表面粗糙度儀和被測零件，大約10秒鐘后測量完畢。

　　被測零件是曲面或凹槽或小孔等不同形狀時，需要根據(jù)零件形狀要求，選配不同的傳感器探頭和測量平臺進行測量，因每個客戶的被測零件形狀不同，故表面粗糙度的檢測方法也各不相同，需根據(jù)零件詳細給出測量方案。

　　測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內(nèi)部的驅(qū)動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內(nèi)置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產(chǎn)生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發(fā)生變化，從而在相敏整流器的輸出端產(chǎn)生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，該信號經(jīng)過放大及電平轉(zhuǎn)換之后進入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。

　　隨著袖珍表面粗糙度儀的技術和功能不斷加強和完善，以及深入的推廣和應用，越來越多的行業(yè)被發(fā)現(xiàn)會需求粗糙度的檢測，除機械加工制造外，電力、通訊、電子，如交換機上聯(lián)軸器、集成電路半導體等生產(chǎn)加工過程中也需粗糙度的評定，甚至人們生活中使用的文具、餐具、人的牙齒表面都要用到表面粗糙度的檢驗。

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